Band 46
der Reihe "Science for Systems"
71,00
€
inkl. MwSt
- Verlag: Fraunhofer Verlag
- Genre: keine Angabe / keine Angabe
- Seitenzahl: 108
- Ersterscheinung: 06.02.2020
- ISBN: 9783839615669
Darstellung und Simulation von AlN/GaN-Übergitterstrukturen für elektronische Bauelemente
Oliver Ambacher (Herausgeber)
Pufferschichten haben bei elektronischen Bauelementen eine spannungsreduzierende und eine isolierende Eigenschaft. In der vorliegenden Dissertation wurden Übergitter, bestehend aus kurzperiodischen AlN und GaN Schichten, als Pufferschichten realisiert. Hergestellt, charakterisiert und simuliert wurden zwei unterschiedliche Variationen in der Periode des Übergitters. Die Simulation erfolgte anhand von Kapazitäts-Spannungs-Messungen.
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