Cover-Bild Darstellung und Simulation von AlN/GaN-Übergitterstrukturen für elektronische Bauelemente
Band 46 der Reihe "Science for Systems"
71,00
inkl. MwSt
  • Verlag: Fraunhofer Verlag
  • Genre: keine Angabe / keine Angabe
  • Seitenzahl: 108
  • Ersterscheinung: 06.02.2020
  • ISBN: 9783839615669
Christian Manz

Darstellung und Simulation von AlN/GaN-Übergitterstrukturen für elektronische Bauelemente

Oliver Ambacher (Herausgeber)

Pufferschichten haben bei elektronischen Bauelementen eine spannungsreduzierende und eine isolierende Eigenschaft. In der vorliegenden Dissertation wurden Übergitter, bestehend aus kurzperiodischen AlN und GaN Schichten, als Pufferschichten realisiert. Hergestellt, charakterisiert und simuliert wurden zwei unterschiedliche Variationen in der Periode des Übergitters. Die Simulation erfolgte anhand von Kapazitäts-Spannungs-Messungen.

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