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Band 40
der Reihe "Berichte aus Forschung und Entwicklung IST"
48,00
€
inkl. MwSt
- Verlag: Fraunhofer Verlag
- Genre: keine Angabe / keine Angabe
- Seitenzahl: 149
- Ersterscheinung: 06.11.2014
- ISBN: 9783839608067
Herstellung und Untersuchung p-leitender transparenter CuAlO2- und CuCrO2-Schichten
In dieser Arbeit wurden die zwei p-leitenden TCOs CuAlO2 und CuCrO2 auf Basis der Delafossitstruktur untersucht. Ihre Anwendungen liegen in der transparenten Elektronik, um vollständig oxidische Halbleiter-Bauelemente zu realisieren. Beide Materialien wurden im Sputterverfahren abgeschieden und anschließend getempert. Die prinzipielle Einsetzbarkeit in vollständig oxidischen Bauteilen ließ sich mit einer transparenten CuCrO2-ZnO:Al-Diode nachweisen.
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