Modellbasierte, adaptive Prozessregelung für das Laserstrahlstrukturieren
Beim Laserstrahlstrukturieren sorgen eine Vielzahl von Parameterkombinationen für ein nicht vorhersagbares Abtragergebnis. In dieser Dissertation wurde ein automatisiertes Verfahren zur Bestimmung von zeitlichen Parametern der Scannerspiegel entwickelt, welches Einbrandeffekte an Strukturrändern verhindert. ...