Band 2
der Reihe "Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / ISSN 1869-5183"
29,90
€
inkl. MwSt
- Verlag: KIT Scientific Publishing
- Genre: keine Angabe / keine Angabe
- Seitenzahl: 125
- Ersterscheinung: 01.06.2010
- ISBN: 9783866444966
Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren
Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.
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